第277章 光刻机测试上

宁雪画完一个线条,放下铅笔,站直身体,活动一下发酸的手腕,说道:“这是打板用的图纸,画幅太大,家里的打印机根本打印不出来。除非购买专用的绘图仪,才能借助计算机画这么大的图纸。”

吴志航尴尬一笑,说道:“我对你们服装行业还真不太了解,还以为服装设计图和电路图一样,都能用打印机打印呢。小雪,深圳那边研发的光刻机已经生产出了样机,明天我要回国去见证光刻机的第一次测试,你要一起回去吗?”

宁雪摇摇头,说道:“飞雪公司刚刚创建,连一件产品都没卖出去,我肯定不能此时回国,你先自己回去吧。天地玄门不是能设置三个固定穿越点吗,你在浅水湾别墅那里设一个穿越点,以后白天在深圳上班,晚上通过天地玄门回浅水湾别墅陪我睡觉不就可以了。”

吴志航凑过头去,在宁雪额头亲了一口,说道:“还是老婆你聪明,有了天地玄门,咱们就再也不怕两地分居了。”

宁雪脸颊羞红的将吴志航推开,说道:“这还在公司呢,不要动手动脚的。”

第二天,吴志航驱车返回了深圳电子产业园,连别墅也没回,第一时间就来到了晶圆工厂。光刻机需要工作在超高无尘环境下,刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服,戴上防尘帽,通过风淋间进入无尘车间。

此时是上午十点左右,处于每天的早班时间,晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作,数千名工人,正在生产线上,有条不紊的工作。走过生产区域,进入测试区域,以梁安平为首的几十名研究人员,正围在一台一人多高的设备,做最后的调试,旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去,朝研发部长吴光辉问道:“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机,什么时候能开始光刻测试?”

听到有人提问,杨威力、丁小雅等人同时转头看过来,见是老板吴志航,纷纷打招呼问好,吴光辉出声给吴志航解释道:“对,就是这台机器,昨天组装完成之后,第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间,经过一天一夜的安装调试,现在已经要差不多了。”

吴志航满意的点点头,围着光刻机转了一圈,这台设备为全封闭结构,就像一个四四方方的铁皮文件柜,外壳喷涂成了乳白色,左右两侧,设置有硅晶圆入口和出口,靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道:“只看外表,和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样,这是对外壳进行了优化吗?”

吴光辉摇摇头,说道:“不止优化了外壳,也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗,梁教授他们研发一微米光刻机的时候,参考了0.5微米光刻机的内部结构,对设计图进行了一些更改优化。理论上来说,这些优化对晶圆的加工速度和加工精度,都有所提升,实际情况如何,还需要测试过后才知道。”

梁安平等人又忙活了半个多小时,光刻机终于调试完成,将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。杨威力通过对讲机沟通,让一位名为白巧玲的女工,送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆,梁安平亲自动手,将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上,然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音,一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部,在深色玻璃观察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,开始对硅晶圆进行加工。

见状,吴志航出声询问道:“这台光刻机使用的是哪种光源,是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line,还是248nm的krf(氟化氪)准分子激光作为光源?”

吴光辉答道:“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源,理论上,这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米,作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源,是下一代光刻机光源技术,咱们研发部已经立项开始研发,但这种技术在世界范围内,也是最前沿研发项目,开发难度非常高,不是短期内能攻克的。”

这台光刻机的加工速度还是很快的,即使是初次测试,白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内,全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上,多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版,是晶圆工厂正在生产的arm1芯片掩膜版,其复杂程度和尺寸大小,是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划,第一次光刻测试,应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标,这样一来,就可以从易到难,逐步查漏补缺,将光刻机修改完善。但梁安平和几个主要研发人员,对光刻机测试样机非常有信心,直接上了最大难度,也是需求量最大的arm1芯片。

北极星公司推出的第二代游戏掌机上市之后,立刻受到电玩爱好者的热捧,仅仅上市半个多月,就售出了300万台。随机配送的《超级玛丽》和《功夫小子》两款游戏,在画面、音效、游戏可玩性上,碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销,作为主控芯片的arm1需求量大增,可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间,提升速度非常缓慢。经过孟小刚、梁安平,几个相关领域的专家研究分析,认为arm1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备,能正常生产芯片就不错了,想要苛求加工参数完全达标,几乎不可能。其中影响最大的,就是作为核心设备的光刻机。

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